Aktív témák

• #35 mr_ricsi veterán #96302336 #30

  2006-04-19 23:57:39 #35

  Összes hozzászólása itt Válaszok az összes hozzászólására itt Válaszok erre a hozzászólásra

  Privát üzenet küldése

  

  mr_ricsi

  veterán

  válasz #96302336 #30 üzenetére

  ''Én arra lennék kíváncsi, hogy miféle fénnyel rajzolják a wafereket.''
  Jellemzően 193nm-es UV fénnyel. Kihasználják azt, hogy ha egy helyre fáziskülönbséggel érkezik a fény, akkor erősíthetik vagy ki is olthatják egymást. Ezzel a trükkel tudnak a fény hullámhossza alá menni, ill. javítani tudják a sávok kontúrosságát.
  
  Viszonylag új technika az mélységi litográfia, amikor a wafer felületét folyadék borítja, és mint egy optikai lencse működik. Ezzel a technikával az IBM a 32nm-t is elérhetőnek tartja, 193nm-es fénnyel.
  Az Intel az extrakemény UV felé kutat, 10-30nm-es fényt akar használni, valószínűleg ''szárazon''.
  Ezenkívül létezik röntgen sugaras levilágító berendezés is, de nagyon drága, valamint elektronsugaras is, ami nagyon jó lenne, de lassú, mert a tintasugaras nyomtatóhoz hasonlóan az elektronsugárnak az egész wafert végig kell pásztáznia.
  
  ''a kék fény hullámhossza kb 130 nm''
  Inkább úgy 400nm körül.

Aktív témák